Nuevo sistema de recubrimiento multicapa para obleas hasta 300 mm de diámetro

El Scia Multi 300 es un sistema de pulverización catódica por magnetrón del fabricante alemán de equipos de película fina Scia Systems, que permite el recubrimiento fino multicapa de obleas o láminas hasta 300 mm de diámetro. El Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf (HZDR) ya utiliza el sistema para producir sensores de campo magnético flexibles e imprimibles.

En la producción en serie de componentes semiconductores, además de muchos requisitos de calidad, el rendimiento es un factor crucial a la hora de seleccionar el equipo. Una forma de mejorarlo es utilizar obleas de 300 mm en lugar de las largas láminas de 200 mm, ya que en este caso hay menos superficie de borde inutilizable.

Este hecho ha sido tenido en cuenta por el fabricante alemán de equipos de recubrimientos de película fina Scia Systems, que lanza un nuevo sistema de pulverizado por magnetrón para obleas de 300 mm: el Scia Multi 300.

El sistema se ha diseñado especialmente para la deposición de multicapas de alta calidad en obleas de hasta 300 mm de diámetro. Hasta cuatro boquillas de pulverizado de magnetrón permiten el recubrimiento con diferentes materiales sin interrumpir el vacío, lo que acelera considerablemente el tiempo de producción de un sustrato. Para garantizar la excelente uniformidad y reproducibilidad de cada pila de capas individuales, Scia Systems ha desarrollado una configuración de proceso con rotación orbital y de giro combinada para la oblea dentro de la cámara de proceso, mientras que la orientación boca abajo de la misma garantiza una carga mínima de partículas.

El Scia Multi 300 está diseñado para la deposición de capas metálicas, así como de capas de óxido y nitruro. El bloqueo de la carga de la oblea con la manipulación automática del sustrato y el software de control desarrollado por la empresa permiten un proceso completamente automático y controlado por la receta.

El Scia Multi 300 ya está siendo utilizado en el HZDR por el Departamento de Materiales y Sistemas Inteligentes, dirigido por Denys Makarov. La actividad principal de este grupo es el desarrollo y la producción de magnetoelectrónica flexible e imprimible.

Estos sensores de campo magnético moldeables pueden utilizarse para medir, controlar y supervisar todo tipo de máquinas eléctricas, como en la electrónica de consumo como sensores de control, en el Internet de las Cosas (IOT) y en implantes inteligentes y para controlar robots o aplicaciones domésticas inteligentes. Estas actividades están en el corazón del Helmholtz Innovation Lab FlexiSens.

Para la producción de estos sensores, es importante que las pilas de capas no magnéticas y ferromagnéticas tengan una uniformidad de espesor de película muy alta hasta el borde del sustrato y que el proceso tenga una muy buena reproducibilidad.

Además, el sistema también es adecuado para el procesamiento óptico, por ejemplo, la deposición multicapa de gradiente para revestimientos antirreflectantes e incluso para aplicaciones EUV (ultravioleta extremo).