48 ELECTRÓNICA Los viajes en coche seguros y fiables se los debemos a los sensores MEMS, ya que registran muchos parámetros clave del funcionamiento del vehículo. Permiten controlar muchos sistemas del vehículo, como los airbags, los frenos antibloqueo o los programas electrónicos de estabilidad. Para medir la aceleración, etc., los sensores inerciales MEMS también se incorporan por miles de millones a productos de consumo como smartphones, smartwatches, cuadricópteros, etc. Para que las unidades de sensores MEMS puedan realizar estas tareas de forma fiable y segura, se combinan con un circuito electrónico integrado de aplicación específica (ASIC) que se asienta sobre una unidad portadora de silicio (oblea). Cristalización de silicio por láser para la integración monolítica en sensores MEMS El Fraunhofer ILT, junto con el Fraunhofer ISIT y el IST, ha desarrollado un proceso de cristalización selectiva basado en láser para la fabricación de unidades de sensores MEMS directamente sobre circuitos activos. Foto: Fraunhofer ILT, Aquisgrán, Alemania. Los sistemas microelectromecánicos, MEMS por sus siglas en inglés, microelectromechanical systems, han demostrado su eficacia mil millones de veces como sensores en coches inteligentes, teléfonos móviles y minibombas de insulina, entre otras cosas. Para que estos MEMS sean aún más potentes en el futuro, investigadores del Instituto Fraunhofer de Tecnología Láser ILT de Aquisgrán han desarrollado un proceso de deposición y cristalización láser compatible con CMOS en colaboración con el Fraunhofer ISIT y el IST. A diferencia de otros procesos habituales, este nuevo proceso elimina la necesidad de cables y uniones soldadas, una ventaja que puede reducir significativamente el tamaño de los componentes y mejorar el rendimiento del sensor.
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